早在1738♦✔‍年(nián)，一(yī)名叫丹尼爾.伯努利的(de)人(rén)，應用(yβ€òng)伯努利方程為(wèi)基礎利用(yòng)差壓法測量水(shu∞≤€✔ǐ)流量。後來(lái)一(yī)名叫G.B.文(wén)σ₹丘裡(lǐ)的(de)人(rén)研究用(yòng)文(wén)丘裡(l∞π'ǐ)管測量流量，并在1791年(nián)發表了(le)≠ε∑α研究結果。
    18σ♠Ω86年(nián)，一(yī)名叫赫謝(xiè)爾的(de>✔')人(rén)，應用(yòng)文(wén)丘裡(lǐ)管制✔ (zhì)成了(le)測量水(shuǐ)流量的(de)的(de)實用(yòn$↓g)測量裝置。
    20世紀初、中期，原來(lái​ ‌γ)的(de)測量原理(lǐ)逐漸走向成熟，人(rén)們不(b÷≈××ù)再将思路(lù)局限在原有(yǒu)的(d&→"e)測量方法上(shàng)，而是(shì)開(kāi)始了(le&&ε)新的(de)探索。
    到(dào)了(le)"₩♠✔30年(nián)代，又(yòu)出現(xiàn)了(le)•™"探討(tǎo)用(yòng)聲波測量液體(tǐ)和(hé)氣體(tǐ)的(deσ​)流速的(de)方法聲波測量流量的(de)方法，但(dàn)‍≥到(dào)次世界大(dà)戰為(wèi)止未獲得(de)很(hěn)大(dà±→₩)進展，一(yī)直到(dào)1955年(nián)才有(∑Ω∑☆yǒu)了(le)應用(yòng)聲循環法的(de)馬克森(sē♣♥δn)流量計(jì)的(de)問(wèn)世，用(yòng)于測量航空(>♣&kōng)燃料的(de)流量。
    20世紀60年↑&(nián)代以後，測量儀表開(kāi)始向化(huà)、小(xiǎo• γ÷)型化(huà)等方向發展。随著(zhe)集成電(diàn)路(lù)'§技(jì)術(shù)的(de)迅速發展，具有(yǒu)鎖相(xi"$↓♠àng)環路(lù)技(jì)術(shù)的(de∑><)超聲（波）流量計(jì)也(yě)得(d‍φ↑≈e)到(dào)了(le)普遍應用(yò¶‌‌ng)，微(wēi)型計(jì)算(suàn)機(jī)的(de)廣泛應用(ε"₹γyòng)，進一(yī)步提高(gāo)了(le)流量測量的(de)能(n•βéng)力，如(rú)激光(guāng)多(duō)普勒流速計(j∑≈ì)應用(yòng)微(wēi)型計(jì)算(suàn)機($"&σjī)後，可(kě)處理(lǐ)較為(wèi)複雜(zá)的♥β♥(de)信号。